Разработана магнитная система Хальбаха, создающая однородное поле в плоскости тонких магнитных пленок (ТМП) при их изготовлении по технологии магнетронного напыления. Магнитное поле системы превышает по величине градиентное поле магнетрона примерно в 60 раз на площади 60×48 мм². Это позволяет существенно уменьшить неоднородности распределения магнитных характеристик ТМП по площади образцов. Система сконструирована на основе четырех магнитных линеек, каждая из которых состоит из 8 кобальт-самариевых магнитов размерами 10×10×10 мм. Факт уменьшения неоднородностей распределений магнитных характеристик по площади ТМП подтвержден измерениями на сканирующем спектрометре ферромагнитного резонанса 12 образцов толщиной ~ 55 нм, полученных одновременно распылением мишени состава Ni₈₀Fe₂₀ на подложки из кварцевого стекла размерами 12×12×0.5 мм.
1 Visitors
1 Hits
0 Downloads
