Представлены результаты модификации атомной структуры безуглеродистого монокристаллического сплава ЖС36-ВИ после бомбардировки пучками газовых ионов (Ar+), ускоренными до 30 кэВ и флюенсом F = 1017 ион/см2. Методом полевой ионной микроскопии установлено, что атомная структура поверхности и приповерхностного объема в результате радиационного воздействия испытывает фазовые превращения с образованием новых фаз. Определены размер, форма и места залегания возникших фаз в объеме материала. Обнаружена глубина проникновения радиационного воздействия в приповерхностном слое. При использованных режимах облучения новые нанодисперсные фазы наблюдались вплоть до 30 нм приповерхностного объема сплава.